据介绍，目前这个装备已制备出一系列纳米功能器件，包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片等 。
验证了该装备纳米功能器件加工能力，已达到实用化水平 。

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也就是说，目前主要是一些光学等领域的器件 。
不过也有知乎网友表示“以目前的技术能力，只能做周期的线条和点阵，是无法制作复杂的IC需要的图形的” 。

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